Напыление производится в атмосфере аргона через распылительную головку с заменяемой дисковой мишенью (стандарт - золото/палладий, другие металлы опционально). Напылительная головка легко откидывается для облегчения работы, оснащена электрическими блокировками. Основные технические характеристики: размеры вакуумной камеры - 100 мм в диаметре, высота 100 мм; диаметр мишени - 45 мм; регулируемый ток разряда - 0-50 мА с блокировкой; регулировка времени напыления - ручной режим до 180с с шагом 15с; вакуумный насос - роторный, с откачкой до 25л/мин; вакуум - до 10^-2 мбар; скорость напыления - до 6 нм/мин при токе 25 мА и мишени золото/палладий; толщина покрытия - 1-20 нм, и выше, зависит от времени напыления; размеры: 340x270x320 мм.

https://www.quorumtech.com/sc7620/